一、产品介绍
1、*适合于检测半导体特气的微量泄漏。
2、采用声光报警。
二、产品参数
型号
XP-703D
检测对象气体
半导体材料气体(胂、膦、乙朋烷、硅烷、氢气等)
检测原理
热线型半导体式
采样方式
自动吸引式
可检测浓度 (单位:ppm)
砷烷磷烷乙朋烷硅烷氢气 AsH3PH3B2H6SiH4H2 0.20.30.10.51.0
检测表示
蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度
10秒以内